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商品訊息描述: 日本生產工程權威獎項得主力作，圖解與表格詳實，帶領工程師掌握半導體乾蝕刻技術的全貌，提升現場即戰力。
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非逛不可◎作者於1989年，以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。1994年，以「低溫乾蝕刻設備的開發」受獎機械振興協會賞通產大臣賞。
暢銷商品◎圖解乾蝕刻技術的原理與實務，讓你一讀即懂。
好書推薦◎由製程直到設備、新技術，更進一步設置有關電漿損傷的章節，以便理解全貌並了解乾蝕刻今後的課題與展望。
特惠針對半導體乾蝕刻技術涉及的電漿物理、化學、材料、電磁等複雜現象，循序解析，詳解各環節的連帶影響，提升現場即時應變的作戰能力，為優秀工程師養成必備的工具書！
非等向性蝕刻是如何實現？為何Si的蝕刻使用Cl2及HBr，而SiO2的蝕刻則使用氟碳系列的氣體？為何Poly-Si及Al的蝕刻使用ICP（電感耦合式電漿）之類的高密度電漿，而SiO2的蝕刻則使用中密度電漿於間距狹窄的平行板型蝕刻機？
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商品訊息簡述:
作者： 野尻一男
新功能介紹- 譯者： 倪志榮
- 出版社：白象文化
新功能介紹 - 出版日期：2015/03/01
- 語言：繁體中文
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股王領跌台股收漲5.85點 三大法人賣超57.79億 | 股市要聞 | 股市 | 聯合新聞網
台股示意圖。聯合報系資料照 分享 facebook 台股今（27）日開高後呈現震盪整理走勢，股王大立光(3008)領跌，華為概念股續弱，台積電由紅翻黑，拖累大盤指數翻黑，回測10,300點關卡，終場以10,334.13點作收，上漲5.85點，成交量918.84億元；三大法人賣超57.79億元，外資持續賣超，統計已連續賣超14天，合計賣超1,270.84億元。統計三大法人買賣超情況，外資及陸資（不含外資自營商）賣超46.82億元，投信賣超2.11億元，自營商賣超（合計）8.85億元，其中自營商（自行買賣）賣超6.25億元，自營商（避險）賣超2.6億元。. } }); } 台股今日以10,344.18點上漲開暢銷排行網友開箱介紹出，一度拉升到10,365.44點，以金融股及傳產股撐盤，股王大立光走弱，終場收3,690元，跌幅2.25%，台積電由紅翻黑，終場收231元，跌幅0.86%，鴻海則以平盤71.4元作收，指數一度下滑至10,305.28點，搶購限時商品終場收抗漲特價商品小紅，漲幅0.06%，收在10,限量不等人的超人氣產品334.13點。
8局25人次 東克樹壓倒巨人軍
記者蕭保祥／綜合報導
日本職棒（NPB）爭取季後賽門票的讀賣巨人19日晚間在東京巨蛋吃下慘敗，橫濱DeNA菜鳥強投東克樹前6局完全狀態，投完8局25人次僅被Casey McGehee擊出陽春轟，橫濱終場以6：1痛擊巨人軍，距離第3名巨人只差半場勝差。
▲東克樹打過2017年台北世大運。（資料照／記者雷明正攝影）
台灣選手陽岱鋼打6棒中外野手先發，遭遇東克樹3打樹都槓龜、遭到1次三振，打擊率下降到2成42。
本季堪稱「巨人殺手」的東克樹，開賽就連續解決20名打者，直到7局下才被McGehee擊出陽春轟，完全狀態才被打破，東克樹主投8局用100球，面對24+1人次，投出6次三振，東克樹（11-5）本季對戰讀賣巨人5戰全勝，對戰防禦率下降到1.34。
中央聯盟中段班在球季尾聲混戰，3到6名讀賣巨人、橫濱、中日龍與阪神虎各差半場勝差。
西武獅全場12支安打攻下12分，以12：4痛宰日本火腿，吳念庭代跑守二壘，太平洋聯盟魔術數字下降到M9。
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